极紫外光刻机EUVL应用需求不断释放 荷兰阿斯麦是全球唯一供应商
极紫外光刻机（EUVL）应用需求不断释放 荷兰阿斯麦是全球唯一供应商极紫外光刻机（EUVL）是一种采用极紫外线（EUV）光刻技术的先进制程芯片制造设备。极紫外光刻机主要用于先进半导体制造中，其能够实现比传统深紫外光刻更小的特征尺寸。
极紫外线（EUV）又称极端紫外线辐射，是指电磁波谱中波长从121nm-10nm的电磁辐射。极紫外线光刻采用以波长为10-14nm的极紫外光作为光源，其具有波长极短、频率极高、分辨率高等特点。目前可用于光刻机的极紫外光源可通过同步辐射光源、放电等离子体光源、激光等离子体光源、激光辅助放电等离子体光源（LPP）等方式获得，其中LPP光源为主流EUV光源。
光刻即将目标电路图样从掩模转移到硅片上，是半导体芯片制造过程中最复杂和关键的工艺步骤。近年来，为响应摩尔定律，半导体芯片密集度不断提升，对光刻技术分辨率的要求不断提升，极紫外光刻机作为制造高密集度半导体芯片的核心设备，市场需求不断释放。
根据新思界产业研究中心发布的《中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，光刻机研发及生产壁垒高，目前全球光刻机市场主要由荷兰阿斯麦（ASML）、日本佳能、日本尼康等企业占据，在极紫外光刻机领域，荷兰阿斯麦是全球唯一制造供应商。2024年，全球极紫外光刻市场规模约115亿美元，预计2030年将增长至220亿美元左右。
荷兰阿斯麦于2010年代后期实现了极紫外光刻机商业化，目前其极紫外光刻机已在台积电（TSMC）、韩国三星电子、美国英特尔（Intel）等半导体厂商中应用。荷兰阿斯麦已出货了多种不同型号的极紫外光刻机，包括Twinscan NXE:3400 B/C、NXE:3600D等，2024年极紫外光刻机约占其总销售额的4成。
极紫外光刻机售价高，且对华出口管制，在此背景下，我国企业及单位开始独自开发极紫外光刻机，产业链布局企业包括华为、朗道科技、富创精密、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所等。
新思界行业分析人士表示，极紫外光刻机是高端芯片大规模量产和工业化不可缺少的设备，目前三星、台积电、英特尔等国际龙头半导体厂商均已引进极紫外光刻机。极紫外光刻机技术壁垒高，仅有荷兰阿斯麦能够制造供应，在出口管制背景下，极紫外光刻机亟需实现国产突破。目前我国企业及单位已在极紫外光刻技术领域取得了重要突破，尤其是在极紫外光源上。
中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展及“十五五规划”建议报告
新思界解读
第二部分 中国极紫外光刻机（EUVL）产业政策研究
第三章 极紫外光刻机（EUVL）产业相关法律法规以及政策
第一节 国家有关极紫外光刻机（EUVL）产业的准入的政策、扶持政策
第二节 国家有关极紫外光刻机（EUVL）产业的产业规划
第三节 国家有关极紫外光刻机（EUVL）产业的法律法规
第四章 极紫外光刻机（EUVL）产业链合作机制
第一节 极紫外光刻机（EUVL）产业链条合作机制阐述
第二节 政府角色分析及对产业的影响力
一、中国政府工作报告、产业规划中有关极紫外光刻机（EUVL）的准入政策、扶持政策
二、中国极紫外光刻机（EUVL）产业主管部门,行业监管团体
三、中国发展极紫外光刻机（EUVL）产业政府影响因素力分析
第三部分 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展现状及趋势分析
第五章 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展现状
第一节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展基础
第二节2021-2024年中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展现状
一、2021-2024年聚酰亚胺薄膜产能统计
二、2021-2024年聚酰亚胺薄膜产量统计
三、2021-2024年聚酰亚胺薄膜销售量统计
四、供需平衡分析
第三节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展方向与近年重点项目介绍
第六章 2014-2017年中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展预测
第一节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展前景预测
第二节 极紫外光刻机（EUVL）产业竞争态势预测
第三节 极紫外光刻机（EUVL）产业进入风险预测
第七章 未来五年中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展定位及发展方向
第一节 产业定位
第二节 产业发展方向
第三节 产业发展保障
第四部分 国内极紫外光刻机（EUVL）模式及案例研究
第八章 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展现状概述
第一节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展模式
第二节 极紫外光刻机（EUVL）产业价值链阐述
第三节 极紫外光刻机（EUVL）产业盈利模式分析
第九章 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展模式及典型案例
第一节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展模式
第二节 极紫外光刻机（EUVL）产业价值链阐述
第三节 极紫外光刻机（EUVL）产业盈利模式分析
第四节 中国极紫外光刻机（EUVL）产业发展方向与近年重点项目介绍
第五节 典型案例一
一、案例一简介
二、政府角色及相关优惠政策
三、极紫外光刻机（EUVL）项目对当地经济发展产生的影响
四、极紫外光刻机（EUVL）项目发展模式分析
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