让中国光刻机“变成废铁”,日本对华下狠手,做得比美国人还绝?
当全世界的目光都聚焦在美国对华EUV光刻机的禁售上时,日本却用了一系列手段,试图让中国芯片厂里上千台正在运转的DUV光刻机,一步步走向“废铁”的命运。这并非危言耸听。
想象一个场景:国内某家顶尖晶圆厂,一台价值数亿美元的尼康或佳能浸没式DUV光刻机突然停摆,产线瞬间停滞。
工程师排查后发现,只是一个关键的激光器组件寿命到期。
在过去,这不过是打个电话、发封邮件,日本原厂的备件和工程师很快就会到位。
日本厂商,如东京威力科创(TEL),切断了对中国客户的远程技术支持。
但现在,申请流程被无限期拖延,得到的回复永远是“正在审查”。
这意味着,一旦设备软件出现故障或需要参数调试,中国的工程师们只能干瞪眼,生产线停摆的时间被无限拉长。
更致命的是硬件上的卡脖子。当中国企业为正在服役的尼康、佳能DUV光刻机申请更换激光器等关键备件时,原本的备案制审批,突然变成了逐案严审。
这个“严审”,实际上就是无限期的拖延。没有了原厂的备件和技术服务,这些单台价值数亿美元的精密仪器,其良率会断崖式下滑,生产成本急剧飙升。
从经济效益上看,这等于直接宣判了这些设备的“报废”。一台无法稳定生产、良率低下的光刻机,对芯片厂而言,不再是印钞机,而是一个吞噬利润的黑洞,是产线上最昂贵的“路障”。
此举精准打击了支撑中国汽车、消费电子等国民经济支柱的28纳米及以上成熟制程。
如果说设备维保是掐住了脖子,那么材料管制就是断绝了口粮。光刻胶,这个被比作光刻机这台“打印机”的“墨水”、半导体制造“血液”的关键材料,成了日本的另一张王牌。
日本企业,如信越化学、JSR和东京应化(TOK),几乎垄断了全球高端光刻胶市场,ArF和EUV光刻胶的份额接近百分之百,即便是整体市场,也占据了七成以上。
从2023年6月起,这把刀也开始落下。信越化学以“原材料供应不稳”为由,暂停向部分中国企业供应KrF光刻胶。
日本政府同样没有发布明面上的禁令,而是通过延长审批流程、要求企业签署极其苛刻的“最终用途”承诺书等方式,制造出巨大的供应不确定性。
你封锁,我全链条替代!日本企业很快就感受到了这股反噬的力量。中国曾是它们最大的市场,是名副其实的“金主”。禁令之前,中国市场贡献了尼康光刻机业务近三成的营收。
禁令生效后,寒意迅速传导至企业财报。尼康和TEL在华的订单与营收双双萎缩。到了2024年下半年,材料巨头JSR的对华营收直接下降了22%,而另一家巨头TOK更是遭遇了十年来首次亏损。
东京威力科创的一位高管在接受采访时坦言,失去部分中国市场,相当于公司“失去了一条腿”。这句无奈的表白,揭示了这场政治豪赌背后的巨大经济代价。
日本行业协会的预测更为悲观:一旦中国实现了完全的国产替代,日本企业将可能失去超过40%的全球市场份额。
这种“自损八百”的策略,不仅让日本企业流血,更意外地为对手的自主化进程狠狠踩下了一脚油门。外部的极限封锁,如同一盆冷水,彻底浇醒了国内部分企业“造不如买”的幻想。
原本按部就班,预计需要5到8年才能走完的国产替代之路,被强行压缩到了3到5年。华为明确喊出“全链条替代”的目标,连宁德时代这样的下游巨头也开始向上游的半导体材料领域投资。
产业链的每一个环节都意识到,将身家性命寄托于他人的善意,无异于与虎谋皮。市场也迅速做出反应,国内企业疯狂囤货,一度导致光刻胶价格上涨了30%。
日本忘了那失去的30年了?它不仅是地缘政治的站队,更像是一场历史的重演——昔日被霸凌的受害者,如今正以惊人相似的手段,试图在别人身上复刻自己曾经的悲剧。
1980年代,彼时的日本半导体产业如日中天,全球份额一度超过50%,让美国感到了前所未有的威胁。
随后,美国的“绞杀”大戏上演。从发起“301调查”,到对日本产品征收100%的反倾销税,再到联合欧洲建立技术封锁联盟,最后逼迫日本签署不平等的《美日半导体协定》。
一套组合拳下来,日本半导体产业的脊梁被彻底打断。
其全球份额从巅峰跌落至不足10%,从此一蹶不振,陷入了“失去的三十年”。
当年被美国用技术霸权扼住咽喉的日本,如今却摇身一变,成了对华技术遏制的急先锋,扮演起了当年美国那个扼制者的角色。
这种角色的转换,深刻揭示了国际产业竞争中“技术附庸”的悲剧循环。这也从反面解释了,为何中国必须不惜一切代价打破这种循环。
因为历史已经用日本的惨痛教训证明,依赖他人的技术施舍,最终的结局只能是任人宰割。
面对这把“软刀子”的持续切割,中国并没有坐以待毙一场在“新型举国体制”驱动下的绝地反击战,以前所未有的速度和规模打响了。其目标,不再是修修补补,而是被迫构建一个独立于现有全球体系之外的、全链条的半导体生态系统。
从《“十四五”原材料工业发展规划》等文件的顶层设计,到政府牵头的产业基金在2024年向光刻胶、核心零件等领域砸下超过200亿元的真金白银,再到为相关企业提供“两免三减半”的所得税优惠,国家意志以前所未有的力度,为这场艰苦的技术攻坚战提供了制度与资金的双重保障。
艰难的突破正在发生。在硬件端,上海微电子(SMEE)研发的28纳米浸没式光刻机,其样机已于2024年底交付客户验证,这标志着从0到1的里程碑式跨越。
虽然在稳定性、生产效率上与ASML、尼康等六巨头相比仍有明显差距,但这扇门毕竟被推开了一条缝。
在材料端,南大光电的ArF光刻胶产品通过了中芯国际等头部企业的验证,开始在14纳米以上制程的非关键层实现小批量供应。而技术门槛稍低的KrF光刻胶,晶瑞电材、北京科华(BKM)等企业则已实现批量供货。
当然,现实的差距依然巨大。目前国内高端芯片生产超过90%仍依赖进口光刻机,光刻胶整体国产化率虽达到25%,但真正用于半导体制造的高端产品自给率仅有8%。
更严峻的挑战来自人才,那种能够带领团队攻克难关、横跨化学、材料、机械、电子等多学科的复合型领军人物,依然极度稀缺。
为此,高校纷纷开设相关专业,企业则通过股权激励留住核心骨干,一场全社会的人才争夺战与培养计划也已全面展开。
与此同时,中国也开始亮出自己的博弈筹码。2023年7月,对镓、锗两种关键金属材料的出口管制正式启动。
外媒说日本比美国还绝,短期看确实给咱们添了麻烦,但往远了说,这股狠劲反倒断了咱们对外国技术的念想,逼着咱们自己闯出条自主创新的路。
日本的“软刀子”依然悬在头顶,但中国手中“备胎”转正的盾牌也已初步铸就。
等哪天咱们的光刻胶、光刻机全实现国产化了,再回头看今天这坎儿,说不定还得谢谢日本这波 “狠手”。
毕竟真本事从来不是别人给的,都是在绝境里硬生生逼出来的。
参考资料:
晶片大战:日本荷兰限制对华晶片技术出口,光刻机巨头进一步面临两难
2023年1月30日 BBC中文
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