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极紫外光刻机EUVL利用需求不竭开释 荷兰阿斯麦是全球唯一供给商

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发表于 2025-9-29 13:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
极紫外光刻机(EUVL)利用需求不竭开释 荷兰阿斯麦是全球唯一供给商
  极紫外光刻机(EUVL)是一种采用极紫外线(EUV)光刻技术的先辈制程芯片制造装备。极紫外光刻机首要用于先辈半导体制造中,其可以实现比传统深紫外光刻更小的特征尺寸。
  极紫外线(EUV)又称极端紫外线辐射,是指电磁波谱中波长从121nm-10nm的电磁辐射。极紫外线光刻采用以波长为10-14nm的极紫外光作为光源,其具有波长极短、频次极高、分辨率高档特点。今朝可用于光刻机的极紫外光源可经过同步辐射光源、放电等离子体光源、激光等离子体光源、激光帮助放电等离子体光源(LPP)等方式获得,其中LPP光源为支流EUV光源。


  光刻行将方针电路图样从掩模转移到硅片上,是半导体芯片制造进程中最复杂和关键的工艺步调。近年来,为响应摩尔定律,半导体芯片麋集度不竭提升,对光刻技术分辨率的要求不竭提升,极紫外光刻机作为制造高麋集度半导体芯片的焦点装备,市场需求不竭开释。
  按照新思界产业研讨中心公布的《中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长及“十五五计划”倡议报告》显现,光刻机研发及生产壁垒高,今朝全球光刻机市场首要由荷兰阿斯麦(ASML)、日本佳能、日本尼康等企业占据,在极紫外光刻机范畴,荷兰阿斯麦是全球唯一制造供给商。2024年,全球极紫外光刻市场范围约115亿美圆,估计2030年将增加至220亿美圆左右。
  荷兰阿斯麦于2010年月前期实现了极紫外光刻机贸易化,今朝其极紫外光刻机已在台积电(TSMC)、韩国三星电子、美国英特尔(Intel)等半导体厂商中利用。荷兰阿斯麦已出货了多种分歧型号的极紫外光刻机,包括Twinscan NXE:3400 B/C、NXE:3600D等,2024年极紫外光刻机约占其总销售额的4成。
  极紫外光刻机售价高,且对华出口管束,在此布景下,我国企业及单元起头单独开辟极紫外光刻机,产业链结构企业包括华为、朗道科技、富创紧密、中国科学院长春景学紧密机械与物理研讨所、中国科学院上海光学紧密机械研讨所等。
  新思界行业分析人士暗示,极紫外光刻机是高端芯片大范围量产和产业化不成缺少的装备,今朝三星、台积电、英特尔等国际龙头半导体厂商均已引进极紫外光刻机。极紫外光刻机技术壁垒高,唯一荷兰阿斯麦可以制造供给,在出口管束布景下,极紫外光刻机亟需实现国产冲破。今朝我国企业及单元已在极紫外光刻技术范畴获得了重冲要破,特别是在极紫外光源上。
中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长及“十五五计划”倡议报告
新思界解读

第二部分 中国极紫外光刻机(EUVL)产业政策研讨
  第三章 极紫外光刻机(EUVL)产业相关法令律例以及政策
    第一节 国家有关极紫外光刻机(EUVL)产业的准入的政策、扶持政策
    第二节 国家有关极紫外光刻机(EUVL)产业的产业计划
    第三节 国家有关极紫外光刻机(EUVL)产业的法令律例
  第四章 极紫外光刻机(EUVL)产业链合作机制
    第一节 极紫外光刻机(EUVL)产业链条合作机制论述
    第二节 政府脚色分析及对产业的影响力
      一、中国政府工作报告、产业计划中有关极紫外光刻机(EUVL)的准入政策、扶持政策
      二、中国极紫外光刻机(EUVL)产业主管部分这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了,行业监管团体
      三、中国成长极紫外光刻机(EUVL)产业政府影响身分力分析
第三部分 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长现状及趋向分析
  第五章 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长现状
    第一节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长根本
    第二节2021-2024年中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长现状
      一、2021-2024年聚酰亚胺薄膜产能统计
      二、2021-2024年聚酰亚胺薄膜产量统计
      三、2021-2024年聚酰亚胺薄膜销售量统计
      四、供需平衡分析
    第三节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长偏向与近年重点项目先容
  第六章 2014-2017年中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长猜测
    第一节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长远景猜测
    第二节 极紫外光刻机(EUVL)产业合作态势猜测
    第三节 极紫外光刻机(EUVL)产业进入风险猜测
  第七章 未来五年中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长定位及成长偏向
    第一节 产业定位
    第二节 产业成长偏向
    第三节 产业成长保障
第四部分 国内极紫外光刻机(EUVL)形式及案例研讨
  第八章 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长现状概述
    第一节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长形式
    第二节 极紫外光刻机(EUVL)产业代价链论述
    第三节 极紫外光刻机(EUVL)产业盈利形式分析
  第九章 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长形式及典型案例
    第一节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长形式
    第二节 极紫外光刻机(EUVL)产业代价链论述
    第三节 极紫外光刻机(EUVL)产业盈利形式分析
    第四节 中国极紫外光刻机(EUVL)产业成长偏向与近年重点项目先容
    第五节 典型案例一
      一、案例一简介
      二、政府脚色及相关优惠政策
      三、极紫外光刻机(EUVL)项目对当地经济成长发生的影响
      四、极紫外光刻机(EUVL)项目成长形式分析
...

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