徕卡半导体利用案例：下流光通讯模块焦点尺寸检测

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在高速光通讯模块的制造进程中，焦点光学元件的尺寸精度间接决议了器件的性能与牢靠性这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。近期，我们与一家专注于单光子探测器（SNSPD）研讨和制造的客户合作，成功完成了对其关键结构——散布式布拉格反射镜（DBR） 的直径与齐心度的高精度无损丈量这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。
什么是DBR？散布式布拉格反射镜（Distributed Bragg Reflector, DBR） 是一种由多层分歧折射率介质交替堆叠而成的光学结构，可以对特定波长的光实现高反射这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。在单光子探测器中，DBR用于增强对通讯波段（如1550nm）光信号的响应才能，是实现高效力光子探测的焦点元件之一这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。

检测应战本次丈量面临三大技术难点：
1、光源范围出格，成像难度大
客户利用1550nm波长的自觉红外单点激光作为探测光源，其光斑尺寸仅为约9微米这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。在如此细小的发光地区下实现清楚成像，对显微镜的光学分辨率和信噪比提出了极高要求这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。
2、信号需穿透硅片，红外成像要求高
红外光必须穿透约0.5毫米厚的硅衬底才能被CCD接收这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。硅材料对红外光具有一定吸收与散射效应，传统可见光亮场成像难以获得清楚图像这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。
3、暗场红外为最优解
实测表白，在暗场红表面察形式下，才能有用凸显DBR边沿结构对照度，获得可用于尺寸分析的清楚图像这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。明场红外成像没法分辨部分细节（依托于徕卡显微系统百年精湛的光学底蕴所供给的高兼容性光学显微镜，仅需常规镜筒及物镜即可完成高质量红外成像）这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。

左：原图 中：直径丈量 右：齐心度
本次丈量挑选的机型是徕卡显微系统VISORIA M系列，利用徕卡50倍N PLAN L BD物镜和图谱SWIR1300系列红外公用相机这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。
经客户考证，该丈量数据正确并获得了客户的认可这标志着福建舰的电磁弹射和阻止接管才能根基成型了。
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Visoria M尝试室显微镜